写这篇文章的原因有几个：最近一直在关注半导体量测检测领域，恰逢中科飞测上市，因为题材的稀缺性，市值直接冲上200多亿；另外因为近期在关注精测电子体系内的一个项目，恰好上周又和公司高管做了一个简单交流（公开的），了解一下公司业务进展；而且上周的电子测量仪器投融资论坛上，也有一家创业企业参加，发展路径跟精测电子相似，也是从泛半导体领域，开始逐步向半导体检测领域延伸……
【资料图】
首先谈一下国内半导体设备厂商的业务逻辑，很多都是从泛半导体到半导体演进，并非这些企业蹭半导体的风口，这个逻辑其实是符合商业规律的：
首先以显示面板、MEMS为代表的泛半导体领域，工艺上跟半导体有诸多的类似，无非镀膜去膜、光刻刻蚀等等，另外，相应的检测设备，也都是“光、机、电、算、软”一体化系统集成，设备检测原理类似，差异无非在行业特性和精度上面。
回到精测电子的业务布局，涵盖泛半导体（显示面板）、半导体、锂电池三大领域。其中，泛半导体（显示面板）营收占比最大，属于最早的主打业务，营收占比79.43%；半导体营收占比6.69%，但增速较高，同比增长34.12%。
具体到每个业务的产品品类，显示面板检测设备涵盖LCD、OLED、Mini/Micro-LED等主流技术方向，包括信号检测系统、OLED调测系统、AOI光学检测系统和平板显示自动化设备等；半导体检测设备涵盖前道量测检测设备、后道ATE测试设备，包括膜厚量测系统、光学关键尺寸量测系统、电子束缺陷检测系统、光学缺陷检测系统和自动检测设备（ATE）等；在新能源检测略（非本介绍重点）。
再科普一下前道检测和后道检测的差异，前道检测主要针对芯片制造环节（晶圆加工环节），目的是检查每一步制造工序后产品参数是否达到要求或者存在缺陷。后道测试设备，也被称为ATE测试机台，包括CP测试（测试晶圆上的裸die）和FT测试（封装完成之后成品测试），目的是检查芯片的功能、性能是否符合要求。
业务大类 | 业务小类 | 应用简介 |
前道 检测 | 无图形晶圆激光扫描检测技术 | 污染、划痕等缺陷检测，检测对象主要是硅片、衬底，利用光学系统发现表面缺陷 |
图形晶圆成像检测技术 | 电路图案缺陷检测，检测对象是加工过程中的晶圆，利用光学明场或暗场的成像方法，获取电路团，并进行分析 | |
光刻掩膜板成像检测技术 | 对掩膜板上的图案图像进行光学检测。 | |
前道 量测 | 三维形貌量测 | 宽光谱大视野的相干性测量技术，得到电路图形的高精度三维形貌 |
薄膜膜厚量测 | 镀膜厚度的均匀性测量 | |
套刻精度量测 | 不同光刻工序之间的对准，保证不同层之间电路图案对齐 | |
关键尺寸量测 | 测量晶圆电路图形的线宽、高度和侧壁角度 | |
后道 ATE | CP测试机台 | 利用探针台对晶圆上的裸die进行测试 |
FT测试机台 | 芯片封装完成之后的功能性能测试 |
序号 | 设备类型 | 销售额 （亿美元） | 占全球比例 |
1 | 纳米图形晶圆缺陷检测设备 | 18.9 | 24.7% |
2 | 掩膜版缺陷检测设备 | 8.6 | 11.3% |
3 | 电子束缺陷检测设备 | 8.2 | 10.6% |
4 | 关键尺寸量测设备 | 7.8 | 10.2% |
5 | 无图形晶圆缺陷检测设备 | 7.4 | 9.7% |
6 | 电子束关键尺寸量测设备 | 6.2 | 8.1% |
7 | 套刻精度量测设备 | 5.6 | 7.3% |
8 | 图形晶圆缺陷检测设备 | 4.8 | 6.3% |
9 | 晶圆介质薄膜量测设备 | 2.7 | 3.5% |
10 | X光量测设备 | 1.7 | 2.2% |
11 | 掩膜版关键尺寸量测设备 | 1.0 | 1.3% |
12 | 三维形貌量测设备 | 0.7 | 0.9% |
13 | 其他 | 2.9 | 3.9% |
合计 | 76.5 | 100.0% |
哪怕中科飞测已经5亿的规模，在国际巨头面前，也几乎可以忽略。国产替代这条路径上，差距一方面代表着落后程度，另一方面也代表着未来的市场空间，就看从积极还是消极的角度来看待这个问题了。
具体到两家的产品上，根据公开信息，中科飞测的产品涵盖了无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备、薄膜膜厚量测设备（晶圆介质薄膜量测设备）和套刻精度量测设备。
精测电子的产品涵盖了膜厚量测系统、光学关键尺寸量测系统、电子束缺陷检测系统、光学缺陷检测系统和自动检测设备（ATE）等。
所以对比一下（根据公开信息，如有疏漏，请留言修正）：
设备类型 | 精测电子 | 中科飞测 |
纳米图形晶圆缺陷检测设备 | ||
掩膜版缺陷检测设备 | ||
电子束缺陷检测设备 | ✓ | |
关键尺寸量测设备 | ✓ | |
无图形晶圆缺陷检测设备 | ✓ | ✓ |
电子束关键尺寸量测设备 | ||
套刻精度量测设备 | ✓ | |
图形晶圆缺陷检测设备 | ✓ | ✓ |
晶圆薄膜量测设备 | ✓ | ✓ |
X光量测设备 | ||
掩膜版关键尺寸量测设备 | ||
三维形貌量测设备 | ✓ | |
ATE测试机台 | ✓ |
精测电子子公司上海精测，主要聚焦半导体前道检测设备领域，致力于半导体前道量测检测设备的研发及生产。上海精测膜厚产品（含独立式膜厚设备）、电子束设备已取得国内一线客户的批量订单；OCD设备获得多家一线客户的验证通过，且已取得部分订单；半导体硅片应力测量设备也取得客户订单并完成交付；上海精测半导体（上海精测控股子公司）的明场光学缺陷检测设备已取得突破性订单，且已完成首台套交付；其余储备的产品目前正处于研发、认证以及拓展的过程中。截至2023年4月末，精测电子在半导体领域在手订单约8.91亿元。
精测电子子公司武汉精鸿，主要聚焦自动测试设备（ATE）领域（主要产品是存储芯片测试设备），老化（Burn-In）产品线在国内一线客户实现批量重复订单、CP（ChipProbe，晶片探测）/FT（FinalTest，最终测试，即出厂测试）产品线相关产品已取得相应订单并完成交付，目前批量订单正在积极争取中。
——创道硬科技研究院——
创道（北京）咨询顾问有限公司，专注于服务风险投资机构和科技成长型企业，聚焦“硬科技”领域，涵盖半导体、信创、人工智能、物联网、智能制造、云计算、大数据等。打造“创道硬科技研究院”、“创道硬科技生态圈”、“创道硬科技融服务”三大业务板块，科技研究、产业协同、投融资服务一体化平台，涵盖业务包括风险投资、科技深度研究、投融资咨询等。
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